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时间: 2024-08-05 18:38:24 | 作者: 米乐体育下载
金融界2024年7月28日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，深圳飞骧科技股份有限公司请求一项名为“横向激起体声波滤波器的制造办法及射频模组“，公开号CN1.2，请求日期为2024年6月。
专利摘要显现，本发明适用于半导体工艺技术领域，特别触及一种横向激起体声波滤波器的制造办法及射频模组，所述制造办法使用硅基和光敏玻璃各自优异特性，在制造的完好进程中经过对光敏玻璃曝光和退火，取得作为献身层的结晶化玻璃，完结图形化搬运，这样的一个进程不触及空腔光刻、刻蚀和镀膜，减少了工艺过程，可以下降难度和本钱，进步滤波器的良率和结构稳定性；一起，结晶化玻璃与未结晶化的光敏玻璃具有高的刻蚀挑选比和极低的寄生电阻电容，可简略精确地操控腔体刻蚀，取得抱负的空腔结构，并可以下降器材插损，进步滤波器全体功能。
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